(1) PVDdan oldingi ishlov berish, shu jumladan narsalarni tozalash va dastlabki ishlov berish.Maxsus tozalash usullariga kir yuvish vositalarini tozalash, kimyoviy erituvchi bilan tozalash, ultratovushli tozalash va ion bombasi bilan tozalash kiradi.
(2) Ularni o'choqqa soling, shu jumladan vakuum kamerasini tozalash va moslamalar, buyumlar va moslamalarni o'rnatish, ishga tushirish va ulash.
(3) Vakuum pompasi, odatda 6,6Pa yoki undan ko'p pompalanadi, vakuum nasosini ushlab turish va diffuziya pompasini isitish uchun diffuziya nasosining old qismini oldinroq oching.Oldindan isitish etarli bo'lgandan so'ng, yuqori valf ochiladi va diffuziya pompasi bilan 6 x 10-3 Pa yarim pastki vakuumga pompalanadi.
(4) Pishirish, buyumlarni istalgan haroratgacha pishirish.
(5) Ion bombardimon qilish, vakuum odatda 10 Pa dan 10-1 Pa gacha, ion bombardimon kuchlanishi 200 V dan 1 KV gacha bo'lgan salbiy yuqori kuchlanish va hujum vaqti 15 daqiqadan 30 minutgacha.
(6) Oldindan eritish, materialni oldindan eritish uchun oqimni sozlash, qoplamani oldindan eritish uchun oqimni sozlash va 1 min ~ 2 daqiqa davomida gazsizlantirish.Bug'lanish cho'kmasi.Bug'lanish oqimi kerakli cho'kish vaqti tugaguniga qadar kerak bo'lganda o'rnatiladi.Sovutish, buyumlar vakuum kamerasida ma'lum bir haroratgacha sovutiladi.
(7) Buyumlar chiqarilgandan so'ng, vakuum kamerasi yopiladi, vakuum l × l0-1Pa gacha evakuatsiya qilinadi va diffuziya pompasi parvarishlash pompasi va sovutish suvini o'chirishdan oldin ruxsat etilgan haroratgacha sovutiladi.